西安和其光电申请使用中长波红外辐射测温系统的超低温快速热处理炉专利解决低温时加热辐射透射对于测量的干扰

　　金融界2024年11月14日消息，国家知识产权局信息显示，西安和其光电科技股份有限公司申请一项名为“一种使用中长波红外辐射测温系统的超低温快速热处理炉”的专利，公开号 CN 118936108 A，申请日期为 2024 年 7 月。

　　专利摘要显示，本发明属于半导体技术领域，涉及一种使用中长波红外辐射测温系统的超低温快速热处理炉，包括：加热腔、真空工艺腔，加热腔与真空工艺腔为采用石英保护玻璃相互隔离；加热腔内设有卤素加热灯、温度控制系统；真空工艺腔内待测晶圆的前晶面正对石英保护玻璃位于真空工艺腔一侧的平面；真空工艺腔内设有测温探头正对待测晶圆的背晶面；测温探头电连接温度控制系统；本发明通过选用加热腔保护玻璃不透过的波段作为工作波段，将加热光对于工作波段的辐射干扰在进入工艺腔室前拦截掉，如此则可以解决低温时加热辐射透射对于测量的干扰，使得高温计可以测得更低温度下硅晶圆的信号辐射，扩展了RTP的低温工艺范围，测温下限可以达到50摄氏度或更低。

　　特别声明：以上内容(如有图片或视频亦包括在内)为自媒体平台“网易号”用户上传并发布，本平台仅提供信息存储服务。

　　Kaiyun对新客户有什么特别支持？

　　【地理备考】东非的茂以森林与“尚奥保护区”（附典例训练）2024河北地理真题出处探源，你会怎么备考？

　　【地理试题】从高考解题的卷面中看考生的增分点、2025年高三地理时事热点押题卷

　　Kaiyun对新客户有什么特别支持？

　　中国高校2024年研究生院100强：华中科技大学第6，郑州大学排第34

　　《编码物候》展览开幕 北京时代美术馆以科学艺术解读数字与生物交织的宇宙节律