芯片工艺过程线上技术交流
发布时间:2025-04-19 08:33:27
作者:Kaiyun热处理团队
随着半导体制造工艺节点的不断推进,制程复杂度和精度要求日益提升。半导体制程中涉及大量复杂的物理过程,对这些过程的精准控制直接影响芯片性能和制程稳定性。
能够准确模拟半导体制造过程中的涉及各种物理现象及其相互作用,准确预测结果、优化制程工艺,从而缩短研发周期、降低试错成本,并提升产品竞争力。
本次活动聚焦 COMSOL 仿真软件在半导体制程中的广泛应用,内容涵盖晶圆制备、光刻、沉积、刻蚀、离子注入、热处理,以及平坦化等前道工艺过程中各种多物理场现象的模拟和分析。
硕士毕业于北京航空航天大学,拥有丰富的工程仿真经验。负责 COMSOL 软件的技术支持和客户咨询工作,主要涉及流体、传热等领域。