敏芯股份获得发明专利授权:“压力传感器及其制造方法”
发布时间:2025-03-02 10:56:58
作者:Kaiyun热处理团队
证券之星消息,根据天眼查APP数据显示敏芯股份(688286)新获得一项发明专利授权,专利名为“压力传感器及其制造方法”,专利申请号为CN9.6,授权日为2025年2月28日。
专利摘要:本发明涉及一种压力传感器及其制造方法,该方法包括:提供衬底;在所述衬底的表面形成若干间隔排列的第一孔;进行第一热处理,使得若干所述第一孔合并成悬空的第一真空腔;形成与所述第一真空腔连通的沟槽以及由所述沟槽环绕的感应本体。该方法简化了压力传感器的制造工艺。同时制备的压力传感器,其感压薄膜受外界应力的影响较小。
今年以来敏芯股份新获得专利授权11个,较去年同期减少了26.67%。结合公司2024年中报财务数据,2024上半年公司在研发方面投入了3922.75万元,同比增4.05%。
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